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半導體制造過濾

2022-11-08 22:22:40

半導體廢水.jpg

半導體( semiconductor),指常溫下導電性能介于導體(conductor)與絕緣體(insulator)之間的材料。半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用。如二極管就是采用半導體制作的器件。半導體是指一種導電性可受控制,范圍可從絕緣體至導體之間的材料。無論從科技或是經濟發展的角度來看,半導體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產品,如計算機、移動電話或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關連。常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等,而硅更是各種半導體材料中,在商業應用上最具有影響力的一種。

半導體(semiconductor),指常溫下導電性能介于導體(conductor)與絕緣體(insulator)之間的材料。半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用。

物質存在的形式多種多樣,固體、液體、氣體、等離子體等。通常把導電性差的材料,如煤、人工晶體、琥珀、陶瓷等稱為絕緣體。而把導電性比較好的金屬如金、銀、銅、鐵、錫、鋁等稱為導體。可以簡單的把介于導體和絕緣體之間的材料稱為半導體。與導體和絕緣體相比,半導體材料的發現是最晚的,直到20世紀30年代,當材料的提純技術改進以后,半導體的存在才真正被學術界認可。

本征半導體:不含雜質且無晶格缺陷的半導體稱為本征半導體。在極低溫度下,半導體的價帶是滿帶(見能帶理論),受到熱激發后,價帶中的部分電子會越過禁帶進入能量較高的空帶,空帶中存在電子后成為導帶,價帶中缺少一個電子后形成一個帶正電的空位,稱為空穴。空穴導電并不是實際運動,而是一種等效。電子導電時等電量的空穴會沿其反方向運動  。它們在外電場作用下產生定向運動而形成宏觀電流,分別稱為電子導電和空穴導電。這種由于電子-空穴對的產生而形成的混合型導電稱為本征導電。導帶中的電子會落入空穴,電子-空穴對消失,稱為復合。復合時釋放出的能量變成電磁輻射(發光)或晶格的熱振動能量(發熱)。在一定溫度下,電子- 空穴對的產生和復合同時存在并達到動態平衡,此時半導體具有一定的載流子密度,從而具有一定的電阻率。溫度升高時,將產生更多的電子- 空穴對,載流子密度增加,電阻率減小。無晶格缺陷的純凈半導體的電阻率較大,實際應用不多。

半導體其實是一種開關電路,原材料由稀有金屬組合而成,在一定條件下,就能通電。所謂的稀有金屬原材料主要是硅跟鍺這兩種,分為 NPN PNP 兩種組合方式。

集成電路就是把很多的半導體組合在一個電路板上使用,所謂集成在一起,就是集成電路了。

半導體集成電路(英文名:semiconductor integrated circuit),是指在一個半導體襯底上至少有一個電路塊的半導體集成電路裝置。

半導體集成電路是將晶體管,二極管等等有源元件和電阻器,電容器等無源元件,按照一定的電路互聯,“集成”在一塊半導體單晶片上,從而完成特定的電路或者系統功能。

芯片就是把集成電路,通過技術把它縮小到指甲大的尺寸,或者更小,然后生產再封裝起來使用。

半導體集成電路是指在半導體基板上,利用氧化、蝕刻、擴散等方法,將眾多電子電路組成各式二極管、晶體管等電子組件作在一微小面積上,以完成某一特定邏輯功能(例如:ANDORNAND等), 進而達成預先設定好的電路功能。半導體的生產工藝要求高,涵蓋光刻、精密切割和研磨等各種復雜工藝,生產半導體的過程會產生大量的廢水, 半導體廢水污染物種類多,成分復雜,通常包括多種重金屬廢水,有機廢水以及硅和氟廢水;同時半導體PCW系統的制程冷卻水須過濾處理以回用(見水處理應用)。

半導體生產廢水排放量大,廢水污染物種類多,成份復雜,通常都包括多種重金屬廢水和有機廢水,處理難度較大。為了保證半導體生產廢水的處理效果,須按照污染物的不同將廢水分類收集,針對每一類廢水的主要污染物的特點,分別進行處理,可達到理想的處理效果。同時,采用先進的廢水回用處理技術,保證廢水回用處理系統的穩定性和經濟性

清洗工藝及廢水來源

工藝

清潔源

容器

清潔效果

剝離光刻膠

氧等離子體

平板反應器

刻蝕膠

去聚合物

硫酸:=6:1

溶液槽

除去有機物

去自然氧化層

氟化氫:<1:50

溶液槽

產生無氧表面

旋轉甩干

氮氣

甩干機

無任殘留物

RCA1#(堿性)

氫氧化銨:過氧化氫:=1:1:1.5

溶液槽

除去表面顆粒

RCA2#(堿性)

氯化氫:過氧化氫:=115

溶液槽

除去重金屬粒子

DI清洗

去離子水

溶液槽

除去清洗溶劑

 

問題描述

1.產生廢水量大;

2.廢水成份復雜,含有各種過渡性質的金屬如硅、鍺等,同時含有較高含量的氟;

3.廢水中含有難以處理的較高濃度的 COD

 

相關設備:

精密過濾器    微孔過濾機    袋式過濾器    疊片過濾器   壓濾機    機械過濾器    自清洗過濾器

 

 

 

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技術支持:

設備咨詢前請完善我司工況調查表,以便我司工程師提供更完善的過濾方案!

工況調查表

 

常見顆粒物尺寸大小;

常見液體粘度資料及數據參考表;

常用過濾設備-流體化學適應性表;

規范過濾機濾布的更換、使用和維護;

過濾的基礎理論與技術進展;

過濾的基礎概念;

過濾的種類及模式;

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