近幾年隨著多晶硅生產工藝的不斷改進，生產成本降低和環境保護已成為關注目標，因此含顆粒粉塵氣體的凈化在改良西門子法中日益重要。不論是改良西門子法還是硅烷法生產工藝中都需要過濾設備，用于收集硅粉、氯硅烷循環洗滌、循環水再利用等工序。結合眾多項目生產經驗，YQSTEC提出了自己的過濾工藝解決方案。
多晶硅生產中所遇見的污染物及雜質顆粒：
1.未完全反應的硅粉顆粒；
2.循環液帶入的管道中的雜質；
3.進料帶入的固體粉塵與雜質；
4.合成反應生成的固體雜質；
這些顆粒雜質污染物是影響生產穩定、換熱效率的主要原因。YQSTEC高效的過濾與分離設備不僅保護了生產設備的工藝安全，同時也提升了產品質量與產量。
尾氣過濾應用在多晶硅生產的各個工藝段,對多晶硅的生產起到重要作用,尤其目前行業低位運行期間,對多晶硅產品降低成本至關重要：
a.廢氣廢液工位的煙氣過濾；
b.還原爐尾氣分離；
c.氫化爐尾氣分離；
d.硅粉過濾等。
1、還原尾氣分離
在SiCl4氫化氣和SiHCl3還原氣通過干法分離后，H2和HCl得以回收利用，在H2回用前需過濾氣體中含有的未反應硅粉和生成的石墨粉，來保證氫氣純凈，使氫化反應和還原反應更穩定、高效。
問題： | 要求： | 解決： |
氫氣為高危氣體 | 過濾器密封性能良好 | 采用自動反吹系統，無須打開濾器，減少內件更換頻次，避免泄露可能 |
石墨粉/硅粉顆粒粒徑微小，硬度高。 | 過濾精度要求高，防止內件穿透。 | 采用獨特的燒結金屬氈內件，過濾孔徑穩定，保證過濾性能,過濾精度可達0.1um-0.5um |
尾氣溫度高 | 抗溫要求高。避免降溫處理帶來的一系列問題。 | YQSTEC采用高溫直接處理工藝，避免降溫處理帶來管道腐蝕，能耗浪費嚴重的問題。 |
2、廢氣、廢液焚燒處理
在多晶硅生產工藝中，廢氣廢液處理一直是困擾企業的難題之一。傳統的噴淋處理工藝，處理成本高，浪費嚴重，環保問題嚴峻。
解決方案：
YQSTEC采用干法分離技術，將廢氣廢液在爐內燃燒，生成SiO2粉末，通過分離收集SiO2粉末產生極大的經濟效益。同時解決環保達標排放問題。
工藝優勢：
1、廢氣廢液集中處理，工藝流程短，操作簡單；
2、回收的SiO2粉末產生極大的經濟效益；
3、氣體經燃燒后，符合環保要求，可直接放空處理，經濟環保。
相關產品：
相關資料：
技術支持：
設備咨詢前請完善我司工況調查表，以便我司工程師提供更完善的過濾方案！
